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一、星对 《一种投影物镜零星》是投影上海微电子装备有限公司于2010年12月1日恳求的缔造专利，该专利恳求号为2010105675359，物镜宣告号为CN102486569A，零星专利宣告日为2012年6月6日，种投缔造人是朱立荣。
二、 《一种投影物镜零星》波及用于制作半导体芯片或者其余微器件的步进式光刻机中的投影物镜零星。 从物面至像面挨次排有：一具备正光焦度的第一透镜组；一光焦度为负的第二透镜组；一光焦度为正的第三透镜组；一光焦度为负的第四透镜组；一光焦度为正的第五透镜组，其分为两组子透镜组，在两组子透镜组之间具备一光阑，其特色在于，该投影物镜零星的实用焦距f、该物面至像面的距离L、该光阑处各个视场收回的光束最大口径之差ΔR、该光阑处中间视场收回的光束的最大口径R知足如下条件：0.12＜|L/f|＜0.4；以及ΔR/R＜1%。
三、 2017年12月11日，《一种投影物镜零星》取患上第十九届中国专利优异奖。
四、 （概述图为《一种投影物镜零星》的摘要附图）
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