液晶基板玻璃厚度的丈量措施,行业资讯

厚度是液晶业资液晶基板玻璃破费历程中一项紧张的品质目的，随着液晶基板玻璃尺寸越来越大，基板破费节奏要求越来越短，玻璃传统的厚度手动式丈量已经不能知足破费需要。本文主要钻研了打仗式以及非打仗式传感器的量措在线自动测厚仪，合成运用履历以及优缺陷。施行

　　当初，液晶业资能反对于在线自动测厚的基板传感器主要有两种：打仗式与非打仗式。打仗式传感器，玻璃在全部丈量历程中，厚度与基板玻璃概况打仗。量措

　　打仗式测厚仪的施行中间是一对于位移传感器，相对于部署，液晶业资夹持住基板玻璃。基板在标定后，玻璃合计两个传感器的丈量值之以及，即可患上出基板玻璃的厚度，如图1所示。缺陷是：基板玻璃与传感器探头之间有相对于滑动，易组成基板玻璃概况划伤。此外，传感器探头也有确定的磨损，需要每一每一重新标定并定期替换探头。图2是磨损的探头在显微镜下的照片，图3为打仗式测厚方式测厚数据与离线数据的比力图。审核图3可知，打仗式测厚方式与离线手动丈量服从根基是不同的，能精确反映基板玻璃的厚度扩散，更适宜运用于基板玻璃翘曲、机械振动颇为大的破费线中，能容忍确定的产物划伤及磨损的规模，好比在线魔难关键。

　　图1打仗式位移传感器测厚道理

　　图2磨损的探头

　　图3打仗式测厚方式测厚数据与离线数据的比力图

　　非打仗式测厚方式目上主要有激光三角法以及干涉法两种。（1）激光三角法，道理是：由激光射出一道与基板玻璃概况成确定角度的光线，该光线在基板玻璃第1概况组成一道反射光以及一道折射光，折射光在基板玻璃的第二概况组成一道反射光，丈量两个概况反射光之间的距离差，退出基板玻璃折射率参数，即可合计出基板玻璃的厚度。优势在于非打仗丈量，无磨损，激秃头寿命长。可是，实际破费历程中，在线的基板玻璃受种种因素影响，难以防止地发生发抖、翘曲等变更，这些变更使患上基板玻璃概况与入射激光的角度再也不晃动，丈量精度受到了很大影响。实测的服从如图4所示。

　　图4激光三角法测厚数据与离线数据的比力图

　　（2）干涉法。此种魔难方式主要依靠从光源收回的宽波长光带抵达传感器外部的参考反射面与玻璃后概况后妨碍反射，而这两个反射光是相互干连的。经由火光器对于干涉光的每一个波长实施分光后，就能患上出波长的强度扩散。合成这个强度扩散，就能患上到玻璃基板的厚度。其与玻璃无打仗，可能防止划伤工件，传感器也可能临时运用。其精度颇为高，但随之而来的是量程的削减以及抗干扰能耐的飞腾。实际测试后发现，玻璃基板的摆动、翘曲、配置装备部署震撼等干扰因素，对于精度的影响颇为大，不能知足要求，因此并未接管。

　　当初，不论黑白打仗式仍是打仗式测厚方式，都有各自的优缺陷。对于在线自动测厚来说，实际运用的论断是：（1）打仗式丈量传感器，可能较好地知足各项要求，缺陷是对于玻璃基板概况的划伤及呵护利便；（2）未来提升基板玻璃运用率后，非品质区面积将大为削减；（3）打仗式测厚面临被扩展的运气。非打仗式测厚，如能较好地处置玻璃基板翘曲以及摆动对于精度的影响，将有更好的运用空间。

　　事实的在线测厚方式，应兼具上述方式的各项短处，如：精度高、照应快、无伤害、呵护简略、老本高尚等。可是，当初的技术水平尚未抵达。对于打仗式测厚来说，下场在于其传感器探头的磨损严正，且对于玻璃基板概况组成的划伤。未来的改善倾向在于替换加倍事实的探头，正在测试轴承式探头，但也碰着了一些难以处置的下场。对于非打仗式测厚来说，下场在于被测玻璃基板的翘曲弧度对于精度的影响。未来的改善倾向在于妄想更事实的夹持机构。随着技术的睁开，如G8.5这种更大尺寸的玻璃基板产物也将投产，在线自动测厚已经将面临更大的技术难题。此外，作为对于在线测厚仪丈量服从的判断凭证，离线式家养丈量也具备改善空间，可思考妄想大理石平台作为反对于玻璃基板的，具备XY两个自动移念头构的，干涉式传感器的自动测厚仪。总之，基板玻璃的在线自动测厚仪，是破费历程中的紧张品质保障配置装备部署，抵破费功能的后退以及良品率的提升具备紧张熏染，未来仍有很大的提升空间。